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專利名稱: 一種基于模版制備各向異性有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的方法
專利類別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 200610012053.0
申請(qǐng)日期: 2006-05-31
專利號(hào): CN101083303
第一發(fā)明人: 商立偉 涂德鈺 王叢舜 劉 明
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要: 本發(fā)明屬于有機(jī)半導(dǎo)體學(xué)中的微細(xì)加工領(lǐng)域,特別是一種基于模版
制備各向異性有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的方法。其工藝步驟如下:1.在導(dǎo)電基底上
生長(zhǎng)絕緣介質(zhì)薄膜;2.在絕緣介質(zhì)薄膜表面上旋涂抗蝕劑,光刻得到有
取向的圖形;3.利用抗蝕劑掩蔽刻蝕絕緣介質(zhì)薄膜;4.沉積生長(zhǎng)有機(jī)
半導(dǎo)體薄膜;5.通過鏤空的掩模版沉積源漏金屬電極,完成各向異性有
機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的制備。
其它備注: