專利名稱: | 一種基于模版制備各向異性有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的方法 |
專利類別: | |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200610012053.0 |
申請(qǐng)日期: | 2006-05-31 |
專利號(hào): | CN101083303 |
第一發(fā)明人: | 商立偉 涂德鈺 王叢舜 劉 明 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | 本發(fā)明屬于有機(jī)半導(dǎo)體學(xué)中的微細(xì)加工領(lǐng)域,特別是一種基于模版 制備各向異性有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的方法。其工藝步驟如下:1.在導(dǎo)電基底上 生長(zhǎng)絕緣介質(zhì)薄膜;2.在絕緣介質(zhì)薄膜表面上旋涂抗蝕劑,光刻得到有 取向的圖形;3.利用抗蝕劑掩蔽刻蝕絕緣介質(zhì)薄膜;4.沉積生長(zhǎng)有機(jī) 半導(dǎo)體薄膜;5.通過鏤空的掩模版沉積源漏金屬電極,完成各向異性有 機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的制備。 |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出