| 專利名稱: | 一種通過(guò)熱壓來(lái)制備各向異性有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200610083332.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2006-06-02 |
| 專利號(hào): | CN101083304 |
| 第一發(fā)明人: | 商立偉 王叢舜 劉 明 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明屬于有機(jī)半導(dǎo)體學(xué)中的微細(xì)加工領(lǐng)域，特別是一種通過(guò)熱壓 來(lái)制備各向異性有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的方法。其步驟如下：1.在導(dǎo)電基底上制 備絕緣介質(zhì)層；2.在絕緣介質(zhì)層薄膜表面上蒸發(fā)沉積第一層有機(jī)半導(dǎo)體 薄膜；3.利用光滑的輥筒對(duì)有機(jī)薄膜在高溫下滾動(dòng)加壓；4.蒸發(fā)沉積 第二層同質(zhì)有機(jī)物薄膜；5.通過(guò)鏤空的掩模版沉積生長(zhǎng)源漏金屬電極， 完成各向異性有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)管的制備。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出