| 專利名稱: | 一種三角形結(jié)構(gòu)的微懸臂梁傳感器及其制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200610112552.7 |
| 申請日期: | 2006-08-23 |
| 專利號: | CN101131354 |
| 第一發(fā)明人: | 黃欽文 陳大鵬 歐 毅 葉甜春 張春川 李 凱 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種三角形結(jié)構(gòu)的微懸臂梁傳感器，該傳感器包括：用 于支撐懸臂梁的襯底框架；至少一個固定于襯底框架上的懸臂梁結(jié)構(gòu)；固 定在構(gòu)成所述懸臂梁結(jié)構(gòu)的兩個懸臂梁交叉成銳角端的反光板。本發(fā)明同 時公開了一種三角形結(jié)構(gòu)微懸臂梁傳感器的制作方法。利用本發(fā)明，提高 了測量的精度，在使用光學(xué)讀出的系統(tǒng)中，使測量結(jié)果更加精確，并提高 了成品率，易于實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)；在生物化學(xué)量的測量中，特別是在液體 環(huán)境下的測量，可以得到廣泛的應(yīng)用。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出