| 專利名稱: | 一種非制冷紅外焦平面陣列探測器及其制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200610112884.5 |
| 申請日期: | 2006-09-06 |
| 專利號: | CN101140185 |
| 第一發(fā)明人: | 陳大鵬 葉甜春 歐 毅 董立軍 劉 輝 胥興才 韓敬東 李超波 焦彬彬 黃慶文 石莎莉 伍小平 張青川 董鳳良 熊慎明 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種非制冷紅外焦平面陣列探測器，包括：由雙層氮化 硅SiNx薄膜分別形成的支撐結(jié)構(gòu)和微反射鏡結(jié)構(gòu)，支撐結(jié)構(gòu)同時也作為紅 外輻射吸收層，用于吸收紅外輻射；微反射鏡結(jié)構(gòu)用于與支撐結(jié)構(gòu)形成紅 外吸收共振腔，吸收紅外輻射，提高支撐結(jié)構(gòu)對于紅外輻射的吸收效率， 同時還作為光學(xué)讀出的反射鏡；所述支撐結(jié)構(gòu)和微反射鏡結(jié)構(gòu)通過SiNx 材料連接。本發(fā)明同時公開了一種非制冷紅外焦平面陣列探測器的制作方 法。利用本發(fā)明，由于支撐結(jié)構(gòu)同時充當紅外輻射吸收層，微反射鏡結(jié)構(gòu) 背面金屬可以反射紅外輻射，所以大大提高支撐膜對于紅外輻射的吸收效 率和填充因子。另外，本發(fā)明還提高了系統(tǒng)探測極限靈敏度。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出