| 專利名稱: | 一種晶體管T型納米柵的制備方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710063374.8 |
| 申請日期: | 2007-01-10 |
| 專利號: | CN101221903 |
| 第一發(fā)明人: | 劉 亮 張海英 劉訓春 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種晶體管T型納米柵的制備方法，包括：A.在清洗 干凈的外延片上勻一層易于實現(xiàn)去膠和剝離的第一層電子束膠，然后前 烘；B.在所述第一層電子束膠上勻第二層電子束膠ZEP520A，然后前烘； C.在所述第二層電子束膠ZEP520A上勻一層易于實現(xiàn)去膠和剝離的第三 層電子束膠，然后前烘；D.在所述第三層電子束膠上勻第四層電子束膠 ZEP520A，然后前烘；E.進行柵帽版電子束曝光，依次顯影第四層電子 束膠ZEP520A和第三層電子束膠；F.進行柵腳版電子束曝光，依次顯影 第二層電子束膠ZEP520A和第一層電子束膠；G.腐蝕柵槽，蒸發(fā)柵金屬 并剝離，形成晶體管T型納米柵。利用本發(fā)明，容易制作出極小尺寸的柵 線條，可靠性強，不需要生長和刻蝕介質，大大減小了工藝難度。 |
| 其它備注: | |
科研產出