| 專利名稱: | 一種非制冷紅外成像焦平面陣列探測器 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710062982.7 |
| 申請日期: | 2007-01-24 |
| 專利號: | CN101229910 |
| 第一發(fā)明人: | 焦斌斌 李超波 陳大鵬 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及紅外成像技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種非制冷紅外成像焦平面陣 列探測器，該探測器由微懸臂梁單元采用順序平鋪的方式構(gòu)成，所述微懸 臂梁單元包括熱變形結(jié)構(gòu)、紅外吸收結(jié)構(gòu)和支撐梁；所述熱變形結(jié)構(gòu)有兩 組，分別位于紅外吸收結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，每組熱變形結(jié)構(gòu)一端連接于支撐梁， 另一端連接于紅外吸收結(jié)構(gòu)；所述紅外吸收結(jié)構(gòu)包括光學檢測板和紅外透 過板，且二者通過錨爪固定連接；所述熱變形結(jié)構(gòu)連接于紅外吸收結(jié)構(gòu)的 光學檢測板，與紅外吸收結(jié)構(gòu)的光學檢測板分布于同一平面上。利用本發(fā) 明，解決了圖形區(qū)硅襯底對紅外線反射的問題，提高了探測靈敏度和對入 射紅外線的吸收率。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出