| 專利名稱: | 光-機(jī)械式雙層結(jié)構(gòu)非制冷紅外成像焦平面陣列探測器 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710062983.1 |
| 申請日期: | 2007-01-24 |
| 專利號: | CN101229911 |
| 第一發(fā)明人: | 焦斌斌 李超波 陳大鵬 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及紅外成像系統(tǒng)中非制冷紅外焦平面陣列探測器技術(shù)領(lǐng)域， 公開了一種光-機(jī)械式雙層結(jié)構(gòu)非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，該探測 器由微懸臂梁單元采用相互覆蓋平鋪嵌套的方式構(gòu)成，所述微懸臂梁單元 包括紅外吸收板、熱變形結(jié)構(gòu)和支撐梁，所述熱變形結(jié)構(gòu)與支撐梁固定連 接，所述紅外吸收板與熱變形結(jié)構(gòu)位于不同的平面內(nèi)且固定連接；每個微 懸臂梁單元的紅外吸收板覆蓋在另一個與之相鄰的微懸臂梁單元的熱變 形結(jié)構(gòu)的上方，形成相互覆蓋平鋪嵌套的微懸臂梁單元陣列。利用本發(fā)明， 克服了圖形區(qū)硅襯底對紅外線反射的問題，提高了探測靈敏度，解決了器 件象素面積偏大的問題，提高了探測的分辨率和清晰度。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出