| 專利名稱: | 一種制備交叉結(jié)構(gòu)有機(jī)分子器件的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710062984.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-01-24 |
| 專利號(hào): | CN101232077 |
| 第一發(fā)明人: | 涂德鈺 劉 明 謝常青 朱效力 賈 銳 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請(qǐng)日期: | |
| 國外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及微電子學(xué)與分子電子學(xué)中的微細(xì)加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了一 種制備交叉結(jié)構(gòu)有機(jī)分子器件的方法，該方法包括：A.在基片表面上淀 積電介質(zhì)薄膜；B.在電介質(zhì)薄膜表面上旋涂抗蝕劑，利用X射線光刻和 顯影在抗蝕劑上得到電極圖形；C.淀積金屬，剝離得到下電極金屬圖形； D.生長有機(jī)分子薄膜；E.淀積上電極金屬材料；F.旋涂抗蝕劑，X射 線光刻并顯影，得到上電極圖形；G.以抗蝕劑為掩蔽刻蝕，得到上電極； H.去膠，完成交叉有機(jī)分子器件的制備。利用本發(fā)明，有效地改善了交 叉結(jié)構(gòu)有機(jī)分子器件的制備。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出