| 專利名稱: | 一種氣敏傳感器標定和可靠性測試系統(tǒng) |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710063698.1 |
| 申請日期: | 2007-02-07 |
| 專利號: | CN101241093 |
| 第一發(fā)明人: | 黃欽文 陳大鵬 景玉鵬 歐 毅 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及氣敏傳感器測試技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種氣敏傳感器標定和 可靠性測試系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括進氣單元、氣體流量監(jiān)控及組分控制單元、 氣體混合腔、真空測試腔和傳感器電參量測量裝置；所述進氣單元中的氣 體在氣體流量監(jiān)控及組分控制單元的控制下進入氣體混合腔進行預混合， 然后進入真空測試腔；所述真空測試腔中放置有待測氣敏傳感器，所述傳 感器電參量測量裝置與真空測試腔連接，用于測試真空測試腔中待測氣敏 傳感器的性能。利用本發(fā)明，解決了現(xiàn)有動態(tài)氣敏組件性能測試裝置存在 的不足之處，實現(xiàn)了對待測氣體濃度的精確控制、對不同氣體的測試，以 及對器件溫度的精確控制。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出