| 專利名稱: | 非接觸式微電子機械系統(tǒng)紅外溫度報警器的制備方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710064868.8 |
| 申請日期: | 2007-03-28 |
| 專利號: | CN101274739 |
| 第一發(fā)明人: | 歐 毅 由春娟 羅曉光 陳大鵬 李超波 焦斌斌 石莎莉 董立軍 韓敬東 劉 輝 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種制備非接觸式MEMS紅外溫度報警器的方法，包 括：在第一片硅襯底的正面和背面生長氮化硅薄膜；涂光學光刻膠，對光 學光刻膠進行光刻顯影，形成懸臂梁圖形；蒸發(fā)鉻薄膜，剝離形成鉻掩蔽 圖形；將氮化硅薄膜刻透，得到懸臂梁和電極通孔圖形；涂光學光刻膠， 正面套刻第二版電極通孔圖形；蒸發(fā)鉻/金薄膜，超聲剝離，得到被填充的 電極通孔；在背面涂厚光刻膠，光刻第三版腐蝕窗口圖形；將背面的氮化 硅薄膜刻透，得到背面腐蝕窗口圖形；將第一片硅襯底放入濕法腐蝕液中 進行腐蝕，得到懸臂梁結(jié)構；在第二片硅襯底上蒸發(fā)鉻/金薄膜；將第一片 和第二片硅襯底對準鍵和，然后劃片并焊接引線。利用本發(fā)明，降低了制 備成本，有利于廣泛推廣和應用。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出