| 專利名稱: | 一種抗水流沖擊的體硅腐蝕配套設(shè)備 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710064861.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-03-28 |
| 專利號(hào): | CN101274742 |
| 第一發(fā)明人: | 石莎莉 陳大鵬 景玉鵬 歐 毅 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及一種抗水流沖擊的體硅腐蝕配套設(shè)備，尤指一種對(duì)MEMS 體硅腐蝕設(shè)備——恒溫腐蝕設(shè)備和恒溫加超聲腐蝕設(shè)備的缺陷加以改進(jìn) 的體硅腐蝕配套設(shè)備。本發(fā)明中，被固定的腐蝕槽的底部設(shè)有與具有開關(guān) 的導(dǎo)流管的一端連通的開口，導(dǎo)流管的另一端連接到腐蝕液容器，且放置 硅片的石英架固定在腐蝕槽的靠近敞口的位置；所述腐蝕槽的內(nèi)部空間呈 幾何對(duì)稱，且腐蝕槽的豎直對(duì)稱軸通過所述腐蝕槽底部開口的中心；所述 石英架上放置有硅片時(shí)，硅片的中心對(duì)稱軸與所述腐蝕槽的豎直對(duì)稱軸 重合。本發(fā)明還可以在所述腐蝕槽中在硅片兩側(cè)對(duì)稱地設(shè)置有加熱器。由 此，在硅片兩側(cè)可以形成對(duì)稱的水流流速場(chǎng)和壓力場(chǎng)，并可以避免對(duì)硅片 的不必要的熱沖擊。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出