| 專利名稱: | 一種半導(dǎo)體制冷的二氧化碳超臨界干燥裝置 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710064855.0 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-03-28 |
| 專利號(hào): | CN101275805 |
| 第一發(fā)明人: | 劉茂哲 景玉鵬 陳大鵬 歐 毅 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體制冷的二氧化碳超臨界干燥裝置，包括：超 臨界干燥室，用于犧牲層的釋放，由高壓反應(yīng)室和溫度控制室組成；高壓 反應(yīng)室用于盛放硅片支架，提供二氧化碳置換和氣化干燥的反應(yīng)室，與二 氧化碳?xì)馄肯噙B，且高壓反應(yīng)室的外壁上安裝有半導(dǎo)體制冷環(huán)；溫度控制 室通過(guò)蒸發(fā)器盤(pán)管與高壓反應(yīng)室相連，實(shí)現(xiàn)高壓反應(yīng)室的制冷和加熱；分 離減壓室通過(guò)管道與高壓反應(yīng)室相連，用于減壓后將醇類和二氧化碳分 離；所述超臨界干燥室與分離減壓室通過(guò)支座臺(tái)固定連接。利用本發(fā)明， 解決了微細(xì)加工中干燥時(shí)粘連的問(wèn)題，并降低了液體二氧化碳的消耗量， 達(dá)到了節(jié)約能源的目的，與二氧化碳制冷或氟里昂制冷相比，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單， 無(wú)噪音，無(wú)污染，制冷速度快。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出