| 專利名稱: | 一種制作百納米級螺線管或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710064864.X |
| 申請日期: | 2007-03-28 |
| 專利號: | CN101276149 |
| 第一發(fā)明人: | 李金儒 趙 珉 王 琴 劉 明 陳寶欽 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及納米加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種制作百納米級螺線管或網(wǎng) 狀結(jié)構(gòu)的方法，該方法包括：A、對基片襯底進(jìn)行熱處理；B、在襯底上 涂敷具有反轉(zhuǎn)特性的電子抗蝕劑；C、對涂敷電子抗蝕劑進(jìn)行前烘；D、 對電子抗蝕劑進(jìn)行電子束直寫曝光；E、實(shí)施反轉(zhuǎn)顯影及過顯影；F、定影。 利用本發(fā)明，簡化了制作工藝，達(dá)到了利用平面曝光得到立體結(jié)構(gòu)的目的。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出