| 專利名稱: | 一種雙穩(wěn)態(tài)單晶硅梁射頻微機電系統(tǒng)開關(guān) |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710064876.2 |
| 申請日期: | 2007-03-28 |
| 專利號: | CN101276705 |
| 第一發(fā)明人: | 李全寶 景玉鵬 陳大鵬 歐 毅 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及射頻微機電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種雙穩(wěn)態(tài)單晶硅梁射 頻微機電系統(tǒng)開關(guān)，該射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)包括電磁驅(qū)動部分和懸臂梁可 動部分，電磁驅(qū)動部分和懸臂梁可動部分采用對準鍵合方式結(jié)合在一起； 電磁驅(qū)動部分具有鐵心鐵殼和永磁體，通過在平面線圈加電流產(chǎn)生的磁場 與永磁體的磁場相疊加來改變整體磁場的方向，從而使懸臂梁可動部分動 作，實現(xiàn)觸點通斷。利用本發(fā)明，該射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)工作電壓比較低， 驅(qū)動力大，工作次數(shù)高，功耗比較低，接觸電阻小隔離度高，控制電路簡 單，適用于較大功率射頻通訊電路。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出