| 專利名稱: | 一種制作晶體管T型納米柵的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710064866.9 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-03-28 |
| 專利號(hào): | CN101276751 |
| 第一發(fā)明人: | 劉 亮 張海英 劉訓(xùn)春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種制作晶體管T型納米柵的方法，包括：A、在清洗 干凈的外延片上勻一層易于實(shí)現(xiàn)去膠和剝離的第一層電子束膠，然后前 烘；B、在第一層電子束膠上勻第二層電子束膠ZEP520A，然后前烘；C、 在第二層電子束膠ZEP520A上勻一層易于實(shí)現(xiàn)去膠和剝離的第三層電子 束膠，然后前烘；D、在第三層電子束膠上勻第四層電子束膠UVIII，然 后前烘；E、進(jìn)行柵帽版電子束曝光，依次顯影第四層電子束膠UVIII和 易于實(shí)現(xiàn)去膠和剝離的第三層電子束膠；F、進(jìn)行柵腳版電子束曝光，依 次顯影第二層電子束膠ZEP520A和易于實(shí)現(xiàn)去膠和剝離的第一層電子束 膠；G、腐蝕柵槽，蒸發(fā)柵金屬并剝離，形成晶體管T型納米柵。利用本 發(fā)明，容易制作出極小尺寸的柵線條，大大減小了工藝難度。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出