| 專利名稱: | 一種制備晶體管T型納米柵的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710064874.3 |
| 申請日期: | 2007-03-28 |
| 專利號: | CN101276752 |
| 第一發(fā)明人: | 劉 亮 張海英 劉訓(xùn)春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種制備晶體管T型納米柵的方法，包括：A、在清洗 干凈的外延片上勻一層易于實現(xiàn)去膠和剝離的第一層電子束膠，然后前 烘；B、在第一層電子束膠上勻第二層電子束膠ZEP520A，然后前烘；C、 在第二層電子束膠ZEP520A上勻一層易于實現(xiàn)去膠和剝離的第三層電子 束膠，然后前烘；D、在第三層電子束膠上勻第四層電子束膠ZEP520A， 然后前烘；E、進行柵腳版電子束曝光；F、進行柵帽版電子束曝光；G、 依次顯影第四層電子束膠ZEP520A，第三層電子束膠，第二層電子束膠 ZEP520A和第一層電子束膠；H、腐蝕柵槽，蒸發(fā)柵金屬并剝離，形成晶 體管T型納米柵。利用本發(fā)明，容易制作出極小尺寸的柵線條，對準精度 高，可靠性強，不需要生長和刻蝕介質(zhì)，大大減小了工藝難度。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出