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專利名稱: 一種氣敏傳感器
專利類別:
申請?zhí)?/strong>: 200710117612.9
申請日期: 2007-06-20
專利號: CN101329291
第一發(fā)明人: 黃欽文 景玉鵬 陳大鵬 歐 毅 葉甜春
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要: 本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)技術領域,公開了一種氣敏傳感器,包括單晶
硅襯底,起支撐作用的二氧化硅/氮化硅層,加熱測溫電極、叉指電極,加
熱測溫電極和叉指電極之間的電絕緣層,叉指電極引出線壓焊點、加熱測
溫電極引出線壓焊點和氣體敏感層;所述電絕緣層在所述加熱測溫電極形
成后淀積在所述加熱測溫電極上,所述叉指電極形成于所述電絕緣層上,
所述氣體敏感層淀積在所述叉指電極上。利用本發(fā)明,提高了器件被加熱
的工作區(qū)域部分與周圍的熱絕緣,降低了器件功耗,簡化了器件中加熱和
測溫部分的結構,有利于器件的大量生產(chǎn)以及和信號采集處理電路的集
成。
其它備注: