專利名稱: | 一種氣敏傳感器 |
專利類別: | |
申請?zhí)?/strong>: | 200710117612.9 |
申請日期: | 2007-06-20 |
專利號: | CN101329291 |
第一發(fā)明人: | 黃欽文 景玉鵬 陳大鵬 歐 毅 葉甜春 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專利授權日期: | |
繳費情況: | |
實施情況: | |
專利證書號: | |
專利摘要: | 本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)技術領域,公開了一種氣敏傳感器,包括單晶 硅襯底,起支撐作用的二氧化硅/氮化硅層,加熱測溫電極、叉指電極,加 熱測溫電極和叉指電極之間的電絕緣層,叉指電極引出線壓焊點、加熱測 溫電極引出線壓焊點和氣體敏感層;所述電絕緣層在所述加熱測溫電極形 成后淀積在所述加熱測溫電極上,所述叉指電極形成于所述電絕緣層上, 所述氣體敏感層淀積在所述叉指電極上。利用本發(fā)明,提高了器件被加熱 的工作區(qū)域部分與周圍的熱絕緣,降低了器件功耗,簡化了器件中加熱和 測溫部分的結構,有利于器件的大量生產(chǎn)以及和信號采集處理電路的集 成。 |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出