| 專利名稱: | 一種電磁驅(qū)動推拉式射頻微機電系統(tǒng)開關(guān) |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710117611.4 |
| 申請日期: | 2007-06-20 |
| 專利號: | CN101329968 |
| 第一發(fā)明人: | 李全寶 景玉鵬 陳大鵬 歐 毅 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)應(yīng)用中的射頻微機電系統(tǒng)(RF MEMS)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種電磁驅(qū)動推拉式RF MEMS開關(guān)，該射頻 微機電系統(tǒng)開關(guān)包括扭擺梁開關(guān)可動部分、電磁驅(qū)動部分和傳輸線部分， 在電磁驅(qū)動部分的平面線圈加電流產(chǎn)生的磁場與電磁驅(qū)動部分的永磁體 產(chǎn)生的磁場相疊加，改變整體磁場的方向，驅(qū)動扭擺梁開關(guān)可動部分動作， 接通或斷開扭擺梁開關(guān)可動部分與傳輸線部分，實現(xiàn)觸點通斷。利用本發(fā) 明，提高了開關(guān)壽命，解決了現(xiàn)有電磁驅(qū)動RF MEMS開關(guān)存在的缺陷， 降低了功耗，改善了開關(guān)的穩(wěn)定性，降低了加工的復(fù)雜度。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出