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專利名稱: 基于架空金屬線橋的微機(jī)電系統(tǒng)磁執(zhí)行器的制作方法
專利類別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 200710121075.5
申請(qǐng)日期: 2007-08-29
專利號(hào): CN101376490
第一發(fā)明人: 易 亮 歐 毅 陳大鵬 景玉鵬 葉甜春
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要: 本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)微型執(zhí)行器技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種基于架空金
屬線橋的微機(jī)電系統(tǒng)磁執(zhí)行器的制作方法,包括:A.在硅芯片上下表面
淀積氮化硅薄膜;B.保護(hù)正面,背面光刻,刻蝕形成氮化硅薄膜窗口;C.
正面光刻,刻蝕形成氮化硅薄膜執(zhí)行器圖形;D.正面光刻,打底膠,電
子束蒸發(fā)Cr/Au,剝離形成金屬線圈及電極;E.正面光刻,打底膠,電
鍍金,形成架空金屬線橋橋柱;F.正面光刻,打底膠,電子束蒸發(fā)Cr/Au,
剝離形成架空金屬線橋;G.腐蝕背面體硅,釋放執(zhí)行器。利用本發(fā)明,
簡(jiǎn)化了制作工藝,克服了用于流體控制的微執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)力小、存在應(yīng)力、
熱效應(yīng)等問題。
其它備注: