專利名稱: | 基于架空金屬線橋的微機(jī)電系統(tǒng)磁執(zhí)行器的制作方法 |
專利類別: | |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710121075.5 |
申請(qǐng)日期: | 2007-08-29 |
專利號(hào): | CN101376490 |
第一發(fā)明人: | 易 亮 歐 毅 陳大鵬 景玉鵬 葉甜春 |
其它發(fā)明人: | |
國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | 本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)微型執(zhí)行器技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種基于架空金 屬線橋的微機(jī)電系統(tǒng)磁執(zhí)行器的制作方法,包括:A.在硅芯片上下表面 淀積氮化硅薄膜;B.保護(hù)正面,背面光刻,刻蝕形成氮化硅薄膜窗口;C. 正面光刻,刻蝕形成氮化硅薄膜執(zhí)行器圖形;D.正面光刻,打底膠,電 子束蒸發(fā)Cr/Au,剝離形成金屬線圈及電極;E.正面光刻,打底膠,電 鍍金,形成架空金屬線橋橋柱;F.正面光刻,打底膠,電子束蒸發(fā)Cr/Au, 剝離形成架空金屬線橋;G.腐蝕背面體硅,釋放執(zhí)行器。利用本發(fā)明, 簡(jiǎn)化了制作工藝,克服了用于流體控制的微執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)力小、存在應(yīng)力、 熱效應(yīng)等問題。 |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出