| 專利名稱: | 帶光纖定位槽的斜面接收光電探測器及其陣列的制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710121503.4 |
| 申請日期: | 2007-09-07 |
| 專利號(hào): | CN101382623 |
| 第一發(fā)明人: | 申華軍 萬里兮 李志華 楊成樾 李寶霞 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及光纖通信技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種帶光纖定位槽的斜面接收 光電探測器的制作方法，在斜面接收光電探測器SVPD的制作過程中增加 光纖定位槽腐蝕工藝，在SVPD的相對(duì)一側(cè)朝向SVPD有源區(qū)的方向上腐 蝕半導(dǎo)體襯底形成用于容納對(duì)準(zhǔn)光纖的光纖定位槽，將光纖定位槽與 SVPD集成為一體，位于光纖定位槽的光纖的中心精確對(duì)準(zhǔn)SVPD的有源 區(qū)中心。本發(fā)明同時(shí)公開了一種帶光纖定位槽的斜面接收光電探測器陣列 的制作方法。利用本發(fā)明，使光纖和SVPD的對(duì)準(zhǔn)精度在微米量級(jí)，克服 了定位精度的漂移問題，提高了定位精度的可靠性，并降低了光纖對(duì)準(zhǔn)定 位的難度，降低了光纖對(duì)準(zhǔn)定位的成本。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出