| 專利名稱: | 振幅型波帶片光子篩 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810223352.8 |
| 申請日期: | 2008-09-26 |
| 專利號: | CN101398493 |
| 第一發(fā)明人: | 賈 佳 謝長青 劉 明 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種振幅型波帶片光子篩，屬于光學(xué)儀器領(lǐng)域。本發(fā)明是在透明介 質(zhì)上，其中心部位設(shè)置菲涅耳波帶片環(huán)帶，在環(huán)帶外圍設(shè)置普通的光子篩圓孔，光子 篩的圓孔包圍波帶片的環(huán)帶。其中菲涅耳波帶片是振幅型的。制造的光子篩所基于的 波帶片和內(nèi)部所包圍的波帶片的設(shè)計參數(shù)一致，光子篩每個圓孔的直徑是相應(yīng)位置環(huán) 帶的1.5倍；外圍光子篩最外環(huán)圓孔的直徑與中心部分波帶片最外環(huán)環(huán)帶的寬度一致， 它們根據(jù)現(xiàn)有的微細(xì)加工最小線寬的工藝能力確定。本發(fā)明可用于光束整形、微電子 無掩模刻蝕、強激光能量集中、X射線聚焦和其它需要能量聚焦到中心光斑的各種儀 器中，可以提高篩聚焦衍射光強，即實現(xiàn)了激光束遠(yuǎn)場衍射斑的主斑能量的提升。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出