| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 基于襯底硅作固支的微機(jī)械懸臂梁陣列的制作方法 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710177792.X |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-11-21 |
| 專(zhuān)利號(hào): | CN101439842 |
| 第一發(fā)明人: | 石莎莉 陳大鵬 景玉鵬 歐 毅 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
| 專(zhuān)利摘要: | 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于襯底硅作固支的微機(jī)械懸臂梁陣列的制作方 法，該方法包括：在<100>硅襯底上雙面淀積SiNx薄膜；表面光刻，刻蝕 SiNx薄膜，形成腐蝕窗口，去膠；腐蝕硅襯底，形成中心帶襯底硅固支柱 的正方形懸臂梁陣列；正面光刻，刻蝕SiNx薄膜，去膠，形成單點(diǎn)固支、 對(duì)稱(chēng)型、高長(zhǎng)寬比的長(zhǎng)方形懸臂梁陣列，或者形成固支在一端的長(zhǎng)方形懸 臂梁陣列。利用本發(fā)明，簡(jiǎn)化了制作工藝，能夠適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)的要求。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出