| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 氮化鎵基場(chǎng)效應(yīng)管及其制備方法 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200810240270.4 |
| 申請(qǐng)日期: | 2008-12-18 |
| 專(zhuān)利號(hào): | CN101442071 |
| 第一發(fā)明人: | 李誠(chéng)瞻 魏 珂 鄭英奎 劉果果 黃 俊 劉新宇 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
| 專(zhuān)利摘要: | 本發(fā)明是關(guān)于一種氮化鎵基場(chǎng)效應(yīng)管及其制備方法。該場(chǎng)效應(yīng)管包括 正面管芯、襯底和背金結(jié)構(gòu)，所述的襯底包括碳化硅襯底或藍(lán)寶石襯底，所 述的背金結(jié)構(gòu)設(shè)置在襯底底面，該背金結(jié)構(gòu)包括背金起鍍層和電鍍層，所述 的背金起鍍層是由鈦金屬層、鎢金屬層和金金屬層構(gòu)成的復(fù)合金屬層，所述 的鈦金屬層與所述的襯底接觸。本發(fā)明采用氫氧化鈉拋光液，對(duì)場(chǎng)效應(yīng)管 的襯底進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光，采用濺射鈦/鎢/金復(fù)合層金屬的方法形成背金 起鍍層，利用鎢的良好阻擋性能，鈦/鎢/金系統(tǒng)有效地阻擋金錫合金或金 錫焊料在高溫條件下向襯底滲透，有效地增強(qiáng)了背金結(jié)構(gòu)在碳化硅襯底或 藍(lán)寶石襯底的粘附性。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出