| 專利名稱: | 一種制作異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710178322.5 |
| 申請日期: | 2007-11-28 |
| 專利號: | CN101447428 |
| 第一發(fā)明人: | 于進勇 劉新宇 金 智 程 偉 夏 洋 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利授權日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種制作異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管(HBT)的方法，包 括：在清洗后的制作了部分或全部三臺面HBT的圓片A的一面上涂覆 粘附劑，利用粘附工藝將圓片A粘附到圓片B上；去掉圓片A的襯底， 留下HBT和需要的半導體材料層；制作HBT集電極和金屬互聯(lián)。利 用本發(fā)明，減小了HBT集電極的寄生電容，提高了器件性能，同時避 免了類似工藝過程中對器件的損傷。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出