| 專利名稱: | 一種納米壓印光刻機 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710178789.X |
| 申請日期: | 2007-12-05 |
| 專利號: | CN101452207 |
| 第一發(fā)明人: | 姜 驥 謝常青 岑專專 商立偉 劉興華 劉 明 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種納米壓印光刻機，包括底座、加熱板、墊片、 內(nèi)六角螺釘、支架、傳動導向壓桿、十字槽沉頭螺釘、螺桿和扭力計。 所述加熱板放置在底座上，墊片放置在加熱板上，支架放置在墊片上， 且所述支架、墊片和加熱板通過內(nèi)六角螺釘固定在底座上；所述支架 的上梁中心處設有螺孔，下梁中心處設有通孔；螺桿套接在上梁螺孔 內(nèi)，傳動導向壓桿套接在下梁通孔內(nèi)，螺桿和傳動導向壓桿相連并套 接在支架的梁上；所述十字槽沉頭螺釘從支架下梁前面中心處螺孔旋 進，并頂住傳動導向壓桿中間圓柱外表面的條形凹槽；所述螺桿上端 與扭力計相連。本發(fā)明提供一種結構簡單、制作成本低、操作方便和 使用可靠的納米壓印光刻機。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出