| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 綠色二氧化碳超流體半導(dǎo)體清洗設(shè)備 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200710178774.3 |
| 申請(qǐng)日期: | 2007-12-05 |
| 專(zhuān)利號(hào): | CN101452820 |
| 第一發(fā)明人: | 高超群 劉茂哲 羅小光 李全寶 景玉鵬 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
| 專(zhuān)利摘要: | 本發(fā)明公開(kāi)了一種綠色二氧化碳超流體半導(dǎo)體清洗設(shè)備，用于半 導(dǎo)體芯片的無(wú)水清洗。該設(shè)備主要包括帶溫度和壓力控制的主工作腔 (進(jìn)行超流體清洗和超臨界干燥)、分離二氧化碳和清洗廢液的分離 腔、存放增強(qiáng)清洗效果的清洗劑及助溶劑的暫存腔和對(duì)二氧化碳進(jìn)行 壓縮、散熱和存儲(chǔ)的二氧化碳循環(huán)控制系統(tǒng)等幾大部分。各部分通過(guò) 帶閥門(mén)的管道進(jìn)行連接。在少量有機(jī)溶劑的配合下，以無(wú)表面張力的 二氧化碳超流體為清洗媒體和漂洗液，深入微小孔隙獲得良好的清洗 效果。利用本發(fā)明提供的清洗設(shè)備，避免了純水的大量消耗和化學(xué)藥 劑帶來(lái)的污染，解決了傳統(tǒng)工藝中由于表面張力造成的結(jié)構(gòu)變形和顆 粒吸附等問(wèn)題，而且二氧化碳循環(huán)使用減少了溫室氣體的大量排放。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出