| 專利名稱: | MEMS光譜氣敏傳感器 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710303888.6 |
| 申請日期: | 2007-12-26 |
| 專利號: | CN101470074 |
| 第一發(fā)明人: | 高超群 劉茂哲 惠 瑜 景玉鵬 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種MEMS光譜氣敏傳感器，利用光譜分析的手段 實現(xiàn)目標(biāo)氣體的定性及定量分析。該傳感器由目標(biāo)氣體放電發(fā)出的紅 外光在待測氣體中的吸收量得到目標(biāo)氣體的濃度。該吸收量是由通過 參比室的紅外光光強(qiáng)與通過測量室的紅外光光強(qiáng)之差確定。該傳感器 主要由射頻發(fā)光管、目標(biāo)氣體特征吸收參比室(主參比室)、目標(biāo)氣體 特征吸收測量室(主測量室)、非特征吸收測量室(副測量室)和非特 征吸收參比室(副參比室)組成。主參比室和主測量室用于目標(biāo)氣體 的濃度檢驗，副參比室和副測量室用于確定主測量室內(nèi)的紅外吸收是 否是由干擾氣體引起。利用本發(fā)明，解決了現(xiàn)有傳感器選擇性低、抗 干擾能力差、壽命短的缺點，并且成本低廉，便于廣泛使用。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出