| 專利名稱: | 一種太陽能電池刻邊機(jī)反應(yīng)室結(jié)構(gòu) |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200710303893.7 |
| 申請日期: | 2007-12-26 |
| 專利號: | CN101471395 |
| 第一發(fā)明人: | 劉訓(xùn)春 周宗義 李 兵 王 佳 張育勝 張永利 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明一種太陽能電池刻邊機(jī)反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，它的腔壁與太陽電池片形 狀相似，呈方形，四角處可呈切角狀或弧形，并作為產(chǎn)生輝光放電的射頻 供電的一個電極接地，腔室中間有一個金屬電極接射頻輸出，該金屬射頻 電極上放置有一結(jié)構(gòu)特殊的載片架。在載片架中重疊在一起的硅片的邊沿 與腔壁之間的空間產(chǎn)生等離子體輝光，從而對載片架上的硅片邊沿進(jìn)行腐 蝕。該反應(yīng)室結(jié)構(gòu)可使太陽能電池片的邊沿鉆蝕明顯地減小，因而可提高 太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率和每批產(chǎn)品的一致性，同時它還有載片量大、刻 蝕均勻性好等優(yōu)點(diǎn)。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出