| 專利名稱: | 一種帶硅支撐框架的全鏤空結(jié)構(gòu)光調(diào)制熱成像焦平面陣列 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910080275.X |
| 申請(qǐng)日期: | 2009-03-17 |
| 專利號(hào): | CN101498607 |
| 第一發(fā)明人: | 焦斌斌 陳大鵬 歐 毅 葉甜春 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及用于獲取并轉(zhuǎn)換紅外信號(hào)的傳感組件，尤其涉及一種帶 有硅支撐框架的全鏤空光調(diào)制熱成像焦平面陣列，本發(fā)明由外框和內(nèi)框 構(gòu)成，該內(nèi)框?yàn)榫W(wǎng)格狀，設(shè)置在所述的外框內(nèi)，形成多個(gè)鏤空單元；每 個(gè)鏤空單元內(nèi)設(shè)置一個(gè)微懸臂單元，該微懸臂單元與構(gòu)成鏤空結(jié)構(gòu)的內(nèi) 框或外框相連接。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出