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專(zhuān)利名稱(chēng): 帶自支撐框架的全鏤空結(jié)構(gòu)光調(diào)制熱成像焦平面陣列
專(zhuān)利類(lèi)別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 200910080276.4
申請(qǐng)日期: 2009-03-17
專(zhuān)利號(hào): CN101498608
第一發(fā)明人: 焦斌斌 陳大鵬 歐 毅 葉甜春
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專(zhuān)利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專(zhuān)利證書(shū)號(hào):
專(zhuān)利摘要: 本發(fā)明涉及用于獲取并轉(zhuǎn)換紅外信號(hào)的傳感組件,尤其涉及一種帶
自支撐框架的全鏤空結(jié)構(gòu)光調(diào)制熱成像焦平面陣列,本發(fā)明由外框和內(nèi)
框構(gòu)成,該內(nèi)框?yàn)榫W(wǎng)格狀,設(shè)置在所述的外框內(nèi),形成多個(gè)鏤空單元;每
個(gè)鏤空單元內(nèi)設(shè)置一個(gè)微懸臂梁?jiǎn)卧撐冶哿簡(jiǎn)卧c構(gòu)成鏤空結(jié)構(gòu)
的內(nèi)框或外框相連接,所有的微懸臂梁?jiǎn)卧c內(nèi)框采用相同的材料且一
體成型。
其它備注: