| 專利名稱: | 一種硅納米光波導(dǎo)與光纖的耦合封裝方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810239885.5 |
| 申請日期: | 2008-12-19 |
| 專利號: | CN101533128 |
| 第一發(fā)明人: | 申華軍 周靜濤 劉新宇 吳德馨 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及光集成芯片的耦合封裝技術(shù)領(lǐng)域的一種硅納米光波導(dǎo)與光纖 的耦合封裝方法。為了實(shí)現(xiàn)硅納米光波導(dǎo)與光纖的高效光耦合與簡便封裝，本 發(fā)明提供一種硅納米光波導(dǎo)和光纖的耦合封裝方法，利用倒錐型模斑轉(zhuǎn)換器實(shí) 現(xiàn)硅納米光波導(dǎo)中的小尺寸模斑向光纖的大尺寸模斑轉(zhuǎn)換，并利用V型光纖定 位槽的自對準(zhǔn)特性實(shí)現(xiàn)硅納米光波導(dǎo)與光纖的對準(zhǔn)耦合和簡便封裝。本發(fā)明中 倒錐形模斑轉(zhuǎn)換器高效、寬帶光耦合特性和光模場尺寸轉(zhuǎn)換能力與SOI襯底特 性、V型光纖定位槽相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)與光纖的精確中心對準(zhǔn)和高效光耦合， 且光纖的固定封裝工藝簡便，非常適用于實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出