| 專利名稱: | 實(shí)現(xiàn)微波開關(guān)及其邏輯控制電路單片集成的制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810102206.X |
| 申請日期: | 2008-03-19 |
| 專利號: | CN101540296 |
| 第一發(fā)明人: | 黎 明 張海英 徐靜波 付曉君 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及化合物半導(dǎo)體MMIC技術(shù)領(lǐng)域，公開一種采用GaAs 增強(qiáng)/耗盡型PHEMT技術(shù)實(shí)現(xiàn)微波開關(guān)及其邏輯控制電路單片集成的 制作方法，利用1.0μm GaAs E/D PHEMT工藝，制備出性能良好的 DC～10GHz SPDT MMIC，將全耗盡型微波開關(guān)與反相器邏輯電路集成 于同一芯片內(nèi)，基本實(shí)現(xiàn)邏輯電路與開關(guān)電路的集成，整個電路只需 要1位控制信號，有效的減少了開關(guān)電路的控制端口數(shù)目，節(jié)省了芯 片面積。為將來采用E/D HEMT技術(shù)實(shí)現(xiàn)更大規(guī)模、更復(fù)雜電路集成 奠定了良好基礎(chǔ)。發(fā)明具有成效明顯，工藝設(shè)計(jì)簡單易行，經(jīng)濟(jì)適用 和可靠性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，容易在微波、毫米波化合物半導(dǎo)體電路制作中采 用和推廣。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出