| 專利名稱: | 一種藍(lán)寶石聲表面波換能器的制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200910301705.6 |
| 申請日期: | 2009-04-21 |
| 專利號: | CN101540591 |
| 第一發(fā)明人: | 李冬梅 劉 明 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石聲表面波換能器的制作方法，屬于聲表面波器件制造技術(shù)領(lǐng)域 。所述方法是在藍(lán)寶石表面先光刻顯影聲表面波換能器件圖形，再用離子注入方法注入金屬 鋁或銅元素；然后，在注入離子后的藍(lán)寶石表面沉積多晶氮化鋁壓電薄膜；最后，去除光刻 膠，得到聲表面波換能器圖形。此方法通過注入離子使藍(lán)寶石表面電阻率大大降低，導(dǎo)電能 力極大增強(qiáng)，從而替代原有的沉積導(dǎo)電薄膜。不需要沉積Al或Au薄膜，也不需要刻蝕過程。 因此，操作大大簡化，同時(shí)器件的抗功率承受力也極大增強(qiáng)。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出