| 專利名稱: | 一種制備ZnO納米線場效應(yīng)管Al2O3柵氧的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810103225.4 |
| 申請日期: | 2008-04-02 |
| 專利號: | CN101552208 |
| 第一發(fā)明人: | 黎 明 張海英 付曉君 徐靜波 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種制備ZnO納米線場效應(yīng)管Al2O3柵氧的方法， 該方法包括：采用柵氧光刻版，并在P型硅襯底上涂膠；陽版光刻顯 影反轉(zhuǎn)后，濺射Al2O3；采用liff-off的方法進(jìn)行丙酮剝離，實(shí)現(xiàn)Al2O3 柵氧的制備。本發(fā)明提出的這種制備ZnO納米線場效應(yīng)管Al2O3柵氧 的方法，解決了ZnO納米線場效應(yīng)晶體管制備過程中柵氧的制備問題， 簡化了制作工藝，降低了制作成本。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出