| 專利名稱: | 一種抗電遷移的聲表面波傳感器的制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200910301691.8 |
| 申請日期: | 2009-04-21 |
| 專利號: | CN101552596 |
| 第一發(fā)明人: | 李冬梅 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種抗電遷移的聲表面波傳感器的制作方法，屬于聲表面波器件制造技術(shù) 領(lǐng)域。該方法以傳統(tǒng)的鋁膜換能器制作方法為基礎(chǔ)，在傳統(tǒng)鋁膜換能器制作完成后，在換能 器的表面再沉積一層氮化鈦薄膜作為擴散阻擋層。本發(fā)明的抗電遷移的聲表面波傳感器的制 作方法在傳統(tǒng)的鋁膜換能器的表面采用氮化鈦薄膜作為鋁膜的擴散阻擋層，可以在很大程度 上增加鋁膜的抗電遷移性，同時延長換能器件的使用壽命。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出