| 專利名稱: | 一種制作空氣橋的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810104222.2 |
| 申請日期: | 2008-04-16 |
| 專利號: | CN101561628 |
| 第一發(fā)明人: | 金 智 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種制作空氣橋的方法，該方法僅使用一種光刻膠， 具體包括：A.在基片上旋涂光刻膠，光刻、顯影，制作橋墩圖形；B. 對制作了橋墩圖形的基片進行高溫固化；C.在高溫固化后的基片上旋 涂第二層同種光刻膠，光刻、顯影，制作橋面圖形；D.蒸發(fā)金屬，布 線；E.進行金屬剝離；F.溶掉高溫固化后的光刻膠。本發(fā)明僅使用 一種光刻膠制作空氣橋，有效地節(jié)約成本，工藝操作簡單，可控性好。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出