最新精品国偷自产在线美女足_国产午夜精华无码网站_天天爱天天做狠狠久久做_国产片免费福利片永久_欧美国产成人精品一区二区三区

專利名稱: 一種用于監(jiān)控介質(zhì)平坦化過程的方法
專利類別:
申請?zhí)?/strong>: 200810104224.1
申請日期: 2008-04-16
專利號: CN101562135
第一發(fā)明人: 金 智 劉新宇
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要: 本發(fā)明公開了一種用于監(jiān)控介質(zhì)平坦化過程的方法,包括:A.在
制作異質(zhì)結(jié)雙極性晶體管HBT的過程中,制作特定的監(jiān)控圖形;B.
在有監(jiān)控圖形且已進(jìn)行介質(zhì)平坦化的基片上,旋涂光刻膠、光刻、顯
影,在監(jiān)控圖形上制作特定形狀的圖形;C.利用氧氣或含有氧氣的等
離子體刻蝕基片一定時間;D.在光學(xué)顯微鏡下觀察監(jiān)控圖形;E.重
復(fù)步驟C和D直到露出發(fā)射極金屬、基極和集電極接線柱。本發(fā)明制
作監(jiān)控圖形與器件的工藝同步進(jìn)行,不需要額外的工藝過程,降低了
監(jiān)控難度,提高了監(jiān)控精度;同時本發(fā)明也避免了使用復(fù)雜設(shè)備的開
銷,有效節(jié)約成本,可以準(zhǔn)確監(jiān)控平坦化過程,使工藝穩(wěn)定,避免過
刻蝕或欠刻蝕造成的工藝不穩(wěn)定。
其它備注: