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專利名稱: 一種摻雜ZrO2阻變存儲器及其制作方法
專利類別:
申請?zhí)?/strong>: 200910086551.3
申請日期: 2009-06-09
專利號: CN101577308
第一發(fā)明人: 劉 明 李穎弢 龍世兵 王 琴 劉 琦 張 森 王 艷 左青云
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實施情況:
專利證書號:
專利摘要: 本發(fā)明涉及一種摻雜ZrO2阻變存儲器及其制作方法,屬于信息存儲技術(shù)
領(lǐng)域。所述存儲器包括上電極、下電極以及位于所述上電極和下電極之間的
電阻轉(zhuǎn)變存儲層,所述下電極由Al制成,所述電阻轉(zhuǎn)變存儲層由Cu摻雜ZrO2
制成。本發(fā)明的摻雜ZrO2阻變存儲器的結(jié)構(gòu)簡單,采用金屬活性較強(qiáng)的Al
作為下電極,可以吸收電阻轉(zhuǎn)變存儲層內(nèi)ZrO2中的氧離子,在ZrO2中形成大
量的氧空位,當(dāng)器件第一次由高阻態(tài)向低阻態(tài)轉(zhuǎn)變時,不再需要一個高的操
作電壓來激活器件,從而消除阻變存儲器第一次由高阻態(tài)向低阻態(tài)轉(zhuǎn)變時所
需要的Forming過程。
其它備注: