| 專利名稱: | 一種聲表面波換能器的制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200910301697.5 |
| 申請日期: | 2009-04-21 |
| 專利號: | CN101599749 |
| 第一發(fā)明人: | 李冬梅 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種聲表面波換能器的制作方法，屬于傳感器制作領(lǐng)域。該方法首先在壓 電基體上依次沉積鈦、鋁鉬合金、鈦、鋁鉬合金四層薄膜，然后涂覆光刻膠并曝光成表面聲 波換能器圖形，采用氯氣和氯化硼的混合氣體刻蝕掉光刻膠未掩蓋的非圖形區(qū)域，最后去除 光刻膠得到聲表面波傳感器換能器圖形。本發(fā)明中的四層膜能抑制鋁原子遷移，提高薄膜的 附著力和功率承受力。在改善鋁膜性能的同時，提高反應(yīng)離子刻蝕圖形的精確度，從而提高 換能器性能的同時，提高器件的使用壽命。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出