| 專利名稱: | 用于檢測(cè)等離子體浸沒(méi)注入劑量的法拉第杯 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910304720.6 |
| 申請(qǐng)日期: | 2009-07-23 |
| 專利號(hào): | CN101615578 |
| 第一發(fā)明人: | 汪明剛 劉 杰 夏 洋 李超波 陳 瑤 趙麗莉 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于檢測(cè)等離子體浸沒(méi)注入劑量的法拉第杯，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。 所述法拉第杯包括杯身、杯底和杯口，杯身相對(duì)于杯底的至少一個(gè)傾角小于90度；傾角 α＝arctan(H/M)，其中，H為法拉第杯杯身的高度，M為杯底最外側(cè)到距離其最近的杯口 邊緣的水平距離。本發(fā)明能夠有效地抑制二次電子逸出法拉第杯杯口，提高了等離子體浸沒(méi) 注入劑量檢測(cè)的精確度。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出