| 專利名稱: | 一種大口徑成像光子篩及其制作方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200910091043.4 |
| 申請日期: | 2009-08-20 |
| 專利號: | CN101630027 |
| 第一發(fā)明人: | 朱效立 潘一鳴 謝常青 賈 佳 劉 明 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種大口徑成像光子篩及其制作方法，屬于衍射光學(xué)組件 技術(shù)領(lǐng)域。所述大口徑成像光子篩包括透光襯底和鍍在其上的不透光的金屬 薄膜，所述不透光的金屬薄膜上隨機(jī)分布若干透光小孔，所述隨機(jī)分布的透 光小孔使得衍射光之間相互干涉從而能夠有效地抑制旁瓣效應(yīng)和高級衍射， 提高分辨率，得到更為銳利的焦斑。在本發(fā)明的制作方法中采用Connes整形 函數(shù)對隨機(jī)分布的小孔進(jìn)行整形，減少了孔數(shù)目，減小了版圖數(shù)據(jù)量，并優(yōu) 化了小孔的整體分布，使得成像焦斑更加銳利，使得現(xiàn)有的加工工藝水平能 夠滿足大口徑光子篩的制造需求。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出