| 專利名稱: | 具有自增益的日盲型AlGaN紫外探測(cè)器及其制備方法 |
| 專利類別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910306624.5 |
| 申請(qǐng)日期: | 2009-09-07 |
| 專利號(hào): | CN101640227 |
| 第一發(fā)明人: | 白 云 麻 芃 劉 鍵 朱 杰 饒志鵬 劉新宇 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專利證書(shū)號(hào): | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及一種具有自增益的日盲型AlGaN紫外探測(cè)器及其制備方法，屬于半導(dǎo)體器件 技術(shù)領(lǐng)域。所述探測(cè)器包括藍(lán)寶石襯底，以及在所述藍(lán)寶石襯底上依次排列生長(zhǎng)的AlN緩沖 層、n型Al0.65Ga0.35N層、i型Al0.45Ga0.55N層、p型Al0.45Ga0.55N層和n型Al0.45Ga0.55N層，在所述 n型Al0.45Ga0.55N層上設(shè)置有第一上電極，在所述n型Al0.65Ga0.35N層上設(shè)置有第二上電極。本 發(fā)明具有自增益的日盲型AlGaN紫外探測(cè)器能夠?qū)ξ⑷醯墓怆娏餍盘?hào)進(jìn)行放大，從而實(shí)現(xiàn)信 號(hào)增益，提高器件的響應(yīng)率。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出