專利名稱: | 一種基于AlGaN的全波段紫外探測器及其制備方法 |
專利類別: | |
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200910306635.3 |
申請(qǐng)日期: | 2009-09-07 |
專利號(hào): | CN101645471 |
第一發(fā)明人: | 白 云 劉 鍵 麻 芃 朱 杰 饒志鵬 劉新宇 郭麗偉 |
其它發(fā)明人: | |
國外申請(qǐng)日期: | |
國外申請(qǐng)方式: | |
專利授權(quán)日期: | |
繳費(fèi)情況: | |
實(shí)施情況: | |
專利證書號(hào): | |
專利摘要: | 本發(fā)明涉及一種基于AlGaN的全波段紫外探測器及其制備方法,屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng) 域。所述探測器包括藍(lán)寶石襯底,以及在所述藍(lán)寶石襯底上依次排列生長的AlN緩沖層、 Al0.65Ga0.35N層、兩個(gè)Al0.45Ga0.55N層、兩個(gè)Al0.2Ga0.8N層和兩個(gè)GaN層,其中,Al0.45Ga0.55N層 和其相鄰的一個(gè)層之間形成一個(gè)pn結(jié),Al0.2Ga0.8N層和其相鄰的一個(gè)層之間形成一個(gè)pn結(jié), GaN層和其相鄰的一個(gè)層之間形成一個(gè)pn結(jié)。本發(fā)明的全波段紫外探測器可以實(shí)現(xiàn)在一套系 統(tǒng)內(nèi)根據(jù)要求進(jìn)行不同波段之間的轉(zhuǎn)換探測,減少了使用成本,便于在實(shí)際工作中進(jìn)行操作 。 |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出