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專利名稱: 金屬環(huán)形柵有機(jī)晶體管結(jié)構(gòu)及其制備方法
專利類別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 200810118730.6
申請(qǐng)日期: 2008-08-20
專利號(hào): CN101656295
第一發(fā)明人: 商立偉 劉明 涂德鈺 甄麗娟 劉舸 劉興華
其它發(fā)明人:
國外申請(qǐng)日期:
國外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要: 本發(fā)明公開了一種金屬環(huán)形柵有機(jī)晶體管結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)包括:絕緣襯
底、在該絕緣襯底表面制備的環(huán)形柵電極、在該絕緣襯底表面及環(huán)形柵電
極上制備的柵介質(zhì)層、在柵介質(zhì)層上制備的有機(jī)半導(dǎo)體層,以及在該有機(jī)
半導(dǎo)體層圓形表面制備的圓形源電極和環(huán)形漏電極。本發(fā)明同時(shí)公開了一
種制備金屬環(huán)形柵有機(jī)晶體管結(jié)構(gòu)的方法,該方法包括:在絕緣襯底上制
備環(huán)形柵電極;在絕緣襯底表面及該環(huán)形柵電極上制備柵介質(zhì)層;在該柵
介質(zhì)層上制備有機(jī)半導(dǎo)體層;在該有機(jī)半導(dǎo)體上制備圓形源電極和環(huán)形漏
電極。利用本發(fā)明,通過改變電極的尺寸比例就可以很好地控制器件的工
作電流密度和閾值電壓,通過嵌入式的電極結(jié)構(gòu)提高了器件的集成度,能
夠和現(xiàn)有的硅微加工技術(shù)兼容。
其它備注: