| 專利名稱: | 位相型波帶片光子篩 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810118972.5 |
| 申請日期: | 2008-08-27 |
| 專利號: | CN101661225 |
| 第一發(fā)明人: | 賈佳 謝長青 劉明 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種位相型波帶片光子篩，該位相波帶片光子篩由中心 部分的位相菲涅耳波帶片圓環(huán)和包圍在該位相菲涅耳波帶片圓環(huán)周圍的 光子篩圓孔構(gòu)成。所述位相菲涅耳波帶片圓環(huán)和光子篩圓孔均制作在透明 介質(zhì)上，先在透明介質(zhì)上制作位相菲涅耳波帶片，在該位相菲涅耳波帶片 周圍制作光子篩，光子篩的圓孔包圍位相菲涅耳波帶片的圓環(huán)。光子篩最 外環(huán)小孔的直徑與位相菲涅耳波帶片最外環(huán)環(huán)帶的寬度一致，二者都受限 于微細加工得最小線寬。光子篩在制作時所基于的波帶片與其內(nèi)部所包圍 的位相菲涅耳波帶片的參數(shù)相同，且每個圓孔的直徑是相應環(huán)帶寬度的 1.5倍。利用本發(fā)明，實現(xiàn)了光子篩聚焦衍射光強的提高，即實現(xiàn)了激光 束遠場衍射斑的主斑能量的提升。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出