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專利名稱: 放電設(shè)備
專利類別:
申請?zhí)?/strong>: 200910180039.5
申請日期: 2009-10-23
專利號: CN101668378
第一發(fā)明人: 楊景華 張超前 趙玲利 王守國
其它發(fā)明人:
國外申請日期:
國外申請方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號:
專利摘要: 本發(fā)明提供了一種放電設(shè)備,屬于等離子體技術(shù)領(lǐng)域。所述放電設(shè)備包括:電極
陣列,設(shè)置成圓弧狀,并連接至高頻脈沖電源;圓滾軸,由金屬制成,并設(shè)置成與圓
弧狀的電極陣列同圓心,用于在接通高頻脈沖電源時(shí),在其與電極陣列之間進(jìn)行放電。
本發(fā)明提供的放電設(shè)備可以在大氣壓下產(chǎn)生低溫均勻準(zhǔn)輝光等離子體放電通道,可以
對穿過等離子體放電區(qū)域的各種薄膜材料進(jìn)行表面改性或接枝處理。
其它備注: