| 專利名稱: | 一種光電位移傳感器及其制備方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200910308373.4 |
| 申請日期: | 2009-10-16 |
| 專利號: | CN101672624 |
| 第一發(fā)明人: | 吳茹菲 洪何清 |
| 其它發(fā)明人: | |
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| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
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| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明涉及一種光電位移傳感器及其制備方法，屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。所述光電位移傳 感器包括激光器、光纖和位移刻度板，激光器安裝于被測物體的主軸上，并可沿被測物體的 主軸進(jìn)行運動；激光器產(chǎn)生的激光束通過光纖照射到位移刻度板上；位移刻度板上的位移刻 度由具有光電導(dǎo)效應(yīng)的半導(dǎo)體材料制成，位移刻度板用于感應(yīng)通過光纖傳輸?shù)募す馐a(chǎn) 生光電流。本發(fā)明光電位移傳感器的結(jié)構(gòu)簡單緊湊、體積小、便于攜帶且測量精度相對傳統(tǒng) 的位移傳感器大幅度提高，由于采用光電技術(shù)實現(xiàn)了非接觸式位移傳感，可以延長傳感器的 使用壽命，同時能夠應(yīng)用于微電子的大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)中，使得生產(chǎn)成本下降，傳感器的價格 相對國外類似高端產(chǎn)品的價格低廉。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出