| 專(zhuān)利名稱(chēng): | 聲表面波氣體傳感器及其制作方法 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別: | |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong>: | 200810224902.8 |
| 申請(qǐng)日期: | 2008-10-24 |
| 專(zhuān)利號(hào): | CN101726538A |
| 第一發(fā)明人: | 李昊峰 賈銳 李維龍 陳晨 朱晨昕 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)日期: | |
| 國(guó)外申請(qǐng)方式: | |
| 專(zhuān)利授權(quán)日期: | |
| 繳費(fèi)情況: | |
| 實(shí)施情況: | |
| 專(zhuān)利證書(shū)號(hào): | |
| 專(zhuān)利摘要: | 本發(fā)明公開(kāi)了一種聲表面波氣體傳感器，包括：一壓電晶體襯底；制備于該壓電晶體襯底表面的三組相互平行且間隔相等的第一叉指電極、第二叉指電極和第三叉指電極；以及在第一叉指電極與第二叉指電極，以及第二叉指電極與第三叉指電極之間的襯底表面分別蒸鍍或涂敷的能夠吸附被測(cè)氣體的敏感膜。本發(fā)明同時(shí)公開(kāi)了一種制作聲表面波氣體傳感器的方法。利用本發(fā)明制備的聲表面?zhèn)鞲衅鳎c不同的敏感膜搭配可以測(cè)量多種氣體，具有靈敏度高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，方便制作，信號(hào)處理容易，能與半導(dǎo)體工藝兼容的優(yōu)點(diǎn)。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出