| 專利名稱: | 基于微機(jī)電技術(shù)制作聲表面波相關(guān)器的方法 |
| 專利類別: | |
| 申請?zhí)?/strong>: | 200810224904.7 |
| 申請日期: | 2008-10-24 |
| 專利號: | CN101729035A |
| 第一發(fā)明人: | 李昊峰 賈銳 李維龍 陳晨 朱晨昕 |
| 其它發(fā)明人: | |
| 國外申請日期: | |
| 國外申請方式: | |
| 專利授權(quán)日期: | |
| 繳費情況: | |
| 實施情況: | |
| 專利證書號: | |
| 專利摘要: | 本發(fā)明公開了一種基于微機(jī)電技術(shù)制作聲表面波相關(guān)器的方法，該方法包括：在壓電晶體襯底上制作兩組叉指換能器，該兩組叉指換能器互不平行且成一定角度；在所述兩組叉指換能器之間制作空氣橋；在空氣橋上蒸鍍金屬薄膜，引出金屬電極。利用本發(fā)明制作的聲表面波相關(guān)器，具有體積小，制作工藝簡單，反應(yīng)迅速，且易與集成電路工藝集成的特點，而且叉指換能器的特殊設(shè)計大大減小了噪聲干擾。 |
| 其它備注: | |
科研產(chǎn)出