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專利名稱: 一種制備混合接觸型電極的有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的方法
專利類別:
申請(qǐng)?zhí)?/strong>: 200810240076.6
申請(qǐng)日期: 2008-12-17
專利號(hào): CN101752501A
第一發(fā)明人: 劉舸 劉明 劉興華 商立偉 王宏 柳江
其它發(fā)明人:
國(guó)外申請(qǐng)日期:
國(guó)外申請(qǐng)方式:
專利授權(quán)日期:
繳費(fèi)情況:
實(shí)施情況:
專利證書號(hào):
專利摘要: 本發(fā)明公開了一種制備混合接觸型電極的有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的方法,通過(guò)在有機(jī)材料蒸鍍生長(zhǎng)之前先在柵介質(zhì)上通過(guò)常規(guī)光刻和剝離的工藝淀積一薄層叉形金屬底電極線條,金屬線條平行排列;蒸鍍有機(jī)半導(dǎo)體材料后再在金屬線條兩邊通過(guò)漏板蒸鍍?cè)绰┥想姌O。由于有機(jī)材料的結(jié)構(gòu)的疏松以及電子束蒸發(fā)的電極金屬能量較大而滲透到半導(dǎo)體材料應(yīng)內(nèi)部使上下電極自動(dòng)連接起來(lái)。于是,混合接觸型電極的有機(jī)場(chǎng)效晶體管制作完成。因此,這些線條不僅取到引導(dǎo)有機(jī)材料有序生長(zhǎng)的作用,而且,在上下電極互連后它們也取到一種下電極的作用。上下電極構(gòu)成平行電路,這也有效減小了器件的溝道電阻,增大了有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的飽和輸出電流。
其它備注: